شركة "جييول": إطلاق مجهر إلكتروني شوتكي جديد من نماذج شبه العدسات (جيه إس إم – آي تي 800 آي/آي إس) لفحص الانبعاثات الميدانية

(بزنيس واير): تعلن شركة "جييول" المحدودة (المدرجة في بورصة طوكيو تحت الرمز: (TOKYO:6951 )الرئيس والرئيس التنفيذي لشؤون العمليات إيزومي أوي) عن تطوير نماذج شبه عدسات ("آي/آي إس") خاصة بالمجهر الإلكتروني شوتكي لفحص الانبعاثات الميدانية، "جيه إس إم – آي تي 800"، تعد الأمثل لفحص أجهزة أشباه الموصلات. تم إطلاق النماذج الجديدة في مايو 2020 وطُرحت للبيع في أغسطس 2021.

خلفية تطوير المنتج

تُستخدم المجاهر الإلكترونية لفحص الأجسام الدقيقة في شتى المجالات، مثل قطاعات تقنية النانو والمعادن وأشباه الموصلات والخزف والطب والبيولوجيا. وبالإضافة إلى ذلك، تتوسع تطبيقات المجاهر الإلكترونية لفحص الأجسام الدقيقة بحيث لا تغطي الأبحاث والتطوير فحسب، ولكن أيضاً تهدف إلى مراقبة الجودة وفحص المنتج في مواقع التصنيع. وبالتالي، تتزايد الطلبات على هذا المنتج، ما يؤدي إلى حيازة أسرع وأفضل للبيانات وتشغيل بسيط للمعلومات التركيبية بطريقة تحليلية سلسة.

ومن أجل تحقيق هذه المتطلّبات، يتضمن المجهر "جيه إس إم – آي تي 800"، عمود الحزمات الالكترونية الشوتكي المتطور داخل العدسات والخاص بالانبعاثات الميدانية للتصوير العالي الاستبانة. كما يتضمن نظام تحكم ضوئي إلكتروني مبتكر "محرك نيو" وواجهة المستخدم الرسومية البسيطة "وسط المجهر الالكتروني" للمسح السريع للمكونات، إلى جانب نظام مطيافية تشتت الطاقة بالأشعة السينية للدمج التام الخاص بـ"جييول"، وهو بمثابة منصة مشتركة. بالإضافة إلى ذلك، يتيح "جيه إس إم - آي تي 800" استبدال العدسات الشيئية للمجاهر الإلكترونية لفحص الأجسام الدقيقة التي تعمل كوحدة، حيث يقدّم عدّة نماذج لتلبية احتياجات المستخدمين المختلفة.

 ويتوافر "جيه إس إم – آي تي 800" في خمسة نماذج مختلفة من العدسات الشيئية تشمل: العدسات القابلة للتغيير للمجاهر الالكترونية لفحص الأجسام الدقيقة عامة الغرض، والعدسات القابلة للتغيير الفائقة (نموذجين بميزات مختلفة) التي تتيح فحصاً ذات استبانة عالية وتحليلات متطورة، ونموذج شبه عدسات (نموذجين بميزات مختلفة)، الذي يعد مناسباً لفحص أجهزة أشباه الموصلات.

وتجدر الإشارة إلى أنّ مجهر "جيه إس إم – آي تي 800" مجهّز بجهاز كشف إلكتروني مرتد ومّاض جديد. يتيح هذا الجهاز إمكانية فحص الصور الحية ذات الاستجابة العالية بسهولة وإنتاج صور ذات مادة مظللة وذلك على مستوى منخفض من الفولتية المتسارعة.

الميزات

1. عمود الحزمات الالكترونية الشوتكي المتطور داخل العدسات والخاص بالانبعاثات الميدانية

يتيح الاندماج التام لعمود الحزمات الالكترونية والعدسات المجمعة منخفضة الانحراف إضاءة أكبر. يتوفر مسبار واسع حالي على مستوى منخفض من الفولتية المتسارعة (100 نانو أمبير على مستوى 5 كيلو فولت). ويتيح نظام شوتكي داخل العدسات الفائق والفريد تطبيقات متنوعة من تصوير عالي الاستبانة إلى مسح سريع للمكونات وتحليل حيود التبعثر الالكتروني المرتد.

2. محرك نيو (محرك ضوئي إلكتروني جديد)

إن محرك نيو هو نظام ضوئي إلكتروني متطور يجمع تقنيات "جيوول" الرئيسية المتراكمة على مرّ السنوات. فيستطيع المستخدمون أن يقوموا بفحص ثابت حتى عند القيام بتغيير شروط الفحص أو التحليل. كما تصبح قابلية التشغيل للوظائف التلقائية أفضل وبجودة أعلى.

3. وسط المجهر الالكتروني لفحص الأجسام الدقيقة / دمج نظام مطيافية تشتت الطاقة بالأشعة السينية

تمّ دمج واجهة المستخدم الرسومية البسيطة "وسط المجهر الالكتروني لفحص الأجسام الدقيقة" وكذلك نظام مطيافية تشتت الطاقة بالأشعة السينية الخاص بـ"جييول" بشكل تام لعمليات تشغيل سلسة وبديهية. ويمكن تعزيز "جيه إس إم – آي تي 800" عن طريق إضافات اختيارية على البرمجيات مثل وسيلة "سمايلنافي" التي تساعد وتعلّم المستخدمين المبتدئين وفلتر "لايف- إيه آي" (المحسن البصري للصور المباشرة – إيه آي) من أجل الحصول على صور مباشرة ذات جودة أعلى.

4. نماذج شبه العدسات

تحقق نماذج شبه العدسات استبانة عالية للغاية عن طريق دمج عواميد الحزمات الالكترونية مع عدسة الميدان المغناطيسي القوي المتكونة أسفل العدسة الشيئية. علاوة على ذلك، يجمع النظام بكفاءة الحزمات الإلكترونية الثانوية منخفضة الطاقة والمنبعثة من العينة ويكشف عن الحزمات الالكترونية باستخدام جهاز الكشف العلوي داخل العدسات. وبالتالي، تتيح نماذج شبه العدسات فحصاً عالي الاستبانة وتحليل العينات المائلة والعينات المقطعية المطلوبة لتحليل فشل أجهزة أشباه الموصلات. بالإضافة إلى ذلك، تعد هذه العدسات مفيدة جداً لفحص تباين الفولتية.

5. جهاز الكشف العلوي للحزمات الالكترونية

يمكن تركيب جهاز الكشف العلوي للحزمات الالكترونية فوق العدسة الشيئية. وتتمثل ميزة النظام في القدرة على حيازة صورة إلكترونية مرتدة، وصورة إلكترونية ثانوية إلى جانب تحيز العينة. يتم اختيار الحزمات الالكترونية المنبعثة من العينة بواسطة جهاز الكشف العلوي داخل العدسات في العدسة الشيئية. ويتيح كل من جهاز الكشف العلوي للحزمات الالكترونية وتكنولوجيا الكشف العلوي داخل العدسات الحصول على العديد من المعلومات بواسطة فحص واحد.

6. أجهزة كشف إلكترونية مرتدة جديدة

يتمتع جهاز الكشف الإلكتروني المرتد والوماض (اختياري) باستجابة عالية وهو مناسب للحصول على صور ذات مادة مظللة وذلك على مستوى منخفض من الفولتية المتسارعة.

المبيعات المنتظرة

1. نموذج "جيه إس إم – آي تي 800 آي": 5 أجهزة في السنة الواحدة
2. نموذج "جيه إس إم – آي تي 800 آي إس": 40 جهازاً في السنة الواحدة

الرابط الإلكتروني الخاص بالمنتج: https://www.jeol.co.jp/en/products/detail/JSM-IT800.html

شركة "جييول" المحدودة

3-1-2، موساشينو، أكيشيما، طوكيو، 196-8558، اليابان

إيزومي أوي، الرئيس والرئيس التنفيذي لشؤون العمليات

(مدونة سوق الأوراق المالية: 6951، الفرع الأول من بورصة طوكيو)

www.jeol.com

بإمكانكم إيجاد الصور والوسائط المعددة عبر الرابط الإلكتروني التالي: /https://www.businesswire.com/news/home/20210830005228/en

إن نص اللغة الأصلية لهذا البيان هو النسخة الرسمية المعتمدة. أما الترجمة فقد قدمت للمساعدة فقط، ويجب الرجوع لنص اللغة الأصلية الذي يمثل النسخة الوحيدة ذات التأثير القانوني.